石英晶體是離子型的晶體，由于結晶點(diǎn)陣的有規則分布，當發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現象，稱(chēng)為壓電現象。石英晶體壓電效應的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類(lèi)型，而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層，使芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會(huì )相應的衰減。膜厚監控儀就是通過(guò)測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監控淀積薄膜的厚度。
膜厚監控儀(FTM)是如何工作的呢？鍍膜時(shí)，膜厚監控儀里面的晶振片的高速振動(dòng)，測試每秒鐘振動(dòng)次數的改變，從所接受的數據中計算膜層的厚度。
儀器參數：
|
儀器尺寸 |
300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H) |
|
重量 |
6Kg |
|
可配套儀器 |
EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, |
|
晶片座 |
置晶片裝置 |
|
密度范圍 |
1.55 to 23.0g/cm-3 |
|
測控范圍 |
5 to 999nm |
|
鍍碳時(shí)精度 |
0.8nm |
|
鍍金時(shí)精度 |
0.1nm |
|
電源 |
230V 50 Hz (3 Amp Max) |
訂購信息;
|
貨號 |
產(chǎn)品名稱(chēng) |
規格 |
|
91006 |
EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone. |
臺 |
|
91006-M |
EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module |
臺 |
|
91008 |
Spare Crystals |
盒 |
|
91009 |
Spare Glass Cylinder |
個(gè) |
| 電話(huà) 010-52571502 010-51248120 郵箱 hedebio@163.com |
