適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡）、TEM（透射電鏡）。
EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區別是EMS300R T腔室足夠大，達到283mm，采用旋轉真空泵抽真空；此外，它配備三個(gè)獨立的濺射頭，確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見(jiàn)EMS300T T）。
特征參數：
1、 可以進(jìn)行超大樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜
2、 三個(gè)濺射頭確保濺射沉積質(zhì)量
3、 單靶材選擇功能，可以進(jìn)行小樣本鍍膜
4、 多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選
5、 選擇裝配膜厚監測儀可以精確控制膜厚
6、 全自動(dòng)觸摸屏控制，快速數字輸入，操作簡(jiǎn)便
7、 可以?xún)Υ娌煌脩?hù)的程序
8、 能夠記錄100個(gè)最新鍍膜細節
9、 真空自動(dòng)控制，且具有真空保持功能
10、 落入式樣品臺拆裝方便（標配是旋轉樣品臺）
11、 最長(cháng)60分鐘不間斷鍍膜能力
12、 符合人體工程學(xué)的整體注塑機身
13、 電氣符合CE要求
14、 三年質(zhì)保
樣品臺：
EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇，用于滿(mǎn)足目前大部分需求。落入式設計使得不同型號的樣品臺之間更換簡(jiǎn)便，樣品臺除了行星臺外其高度均可調，旋轉速度在預設范圍內實(shí)現可調。
l 扁平樣品臺，用于晶圓的鍍膜（152mm-203mm），標配
l 旋轉樣品臺，50mm，不能傾斜
l 旋轉傾斜樣品臺，50mm，高度可調（靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調），傾斜角度在0-30度之間
l 用于撥片的旋轉臺
l 加高腔室：需要時(shí)可以得到（付費）
儀器參數：
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儀器外形尺寸 |
585mm W x 470mm D x 410mm H (total height with coating head open: 650mm) |
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重量 |
36.4kg |
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包裝尺寸 |
725mm W x 660mm D x 680mm H (44.8kg) |
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工作腔室 |
高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H |
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安全保護 |
整體PET套筒 |
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顯示 |
145mm x 320mm x 240mm TFT彩顯 |
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使用者界面 |
直觀(guān)的圖形界面，觸摸鍵。記憶功能：維護提醒及最后100個(gè)鍍膜方案日志記錄 |
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濺射靶材 |
標配三個(gè)57 mm Ø x 0.1 mm金靶 (SC502-314A) |
真空：
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旋轉真空泵 |
50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separately, 91005. |
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真空監測 |
皮拉尼測量 |
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極限真空度 |
潔凈系統可達 2x10-2 mbar，充氮氣 |
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樣品臺 |
標配晶圓樣品臺，152mm-203mm，旋轉速度可調 |
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濺射 |
根據鍍膜厚度或內置的計時(shí)器，濺射電流范圍在0-80mA ，最長(cháng)濺射時(shí)間不超過(guò)60分鐘 |
其它重要信息：
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需要氣體 |
氬氣 99.999%，氮氣可選（排氣時(shí)需要） |
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電源 |
90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power. （注意電壓的選擇） |
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電氣標準 |
符合電氣CE認證要求 |
訂購信息：
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貨號 |
產(chǎn)品名稱(chēng) |
規格 |
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EMS300R T |
EMS300R T 大樣品離子濺射鍍膜儀Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater, fitted with three sputtering heads to ensure even metaldeposition. Include three 57mm Ø x 0.3mm gold (Au) sputter targets. A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafers is fitted as standard |
EACH |
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91005 |
愛(ài)德華旋轉真空泵（單獨購買(mǎi)）Edwards RV5 90L/s two-stage rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter |
EACH |
| 電話(huà) 010-52571502 010-51248120 郵箱 hedebio@163.com |
